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纳米级精密定位/平移/偏转台

压电平移台 压电平移台


1-3维纳米定位台
最大行程300um
闭环精度高

压电扫描台

压电扫描台


二维X、Y轴
三维X、Y、Z轴
开环/闭环可选
行程达300um

压电偏转台 压电偏转台


1-3维
θx、θy、Z、θz
开/闭环可选
最大负载20kg

压电偏转镜

高速压电偏转镜 高速压电偏转镜


θx一维偏转
θxθy二维偏转
θxθy偏转Z升降

大角度压电偏转镜

大行程压电偏转镜


最大偏转
25mrad
闭环线性度高

大负载压电偏转镜 大负载压电偏转镜


4mrad偏转角度
可贴φ100mm镜片

压电陶瓷驱动器/控制器

XE500/501

高端模块化控制器


模块化自由组合
可选0V-1800V
±150V至±900V
开环/闭环可选
界面控制软件
提供二次开发例程

HVA系列电源

HVA压电驱动器


单通道、开环
可选150V/200V/±150/300V
界面控制软件
二次开发例程

压电驱动器定制

压电驱动器定制


大功率驱动器
146通道驱动器
48通道驱动器
超小体积电源

小型化模拟式控制器

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易集成
单通道低压输出
输出电压0-120V
峰值功率达18W

超小体积驱动器

超小体积驱动器


1~3通道
开/闭环/波形
高/低压输出
单极性/双极性
板卡式驱动器

模拟与数字式控制器

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模拟/数字输入
软件开闭环控制
1/3通道开闭环
0-120V输出

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