01
纳米加工技术
02
纳米压印技术
03
纳米压印基本流程
图 1 纳米压印技术基本流程图
芯明天压电位移平台
芯明天压电纳米定位台参数举例
P12A.XY200Z100压电扫描台
型号:P12A.XY200Z100S
闭环传感器:有
运动自由度:X Y Z
行程范围:XY250μm/轴,Z100μm
P15.XYZ100压电纳米定位台
型号:P15.XYZ100S
闭环传感器:有
运动自由度:X Y Z
行程范围:120μm/轴
P15.XYZ300压电纳米定位台
型号:P15.XYZ300S/K-C1
闭环传感器:有
运动自由度:X Y Z
行程范围:300μm/轴
P17.XY200压电纳米定位台
型号:P17.XY200S
闭环传感器:有
运动自由度:X Y
行程范围:187.5μm/轴
P18.XY200压电纳米定位台
型号:P18.XY200S
闭环传感器:有
运动自由度:X Y
行程范围:250μm/轴