特点
• X向运动
• 行程可达330μm
• 抗振动设计
• 两通道控制(含1路恒压)
• 差分驱动
• 快速响应
应用
• 计量/干涉
• 纳米定位
• 质量保证测试
• 精密控制
电压位移曲线
阶跃时间曲线
技术参数
运动自由度:X
行程范围(0~120V):±130μm
行程范围(0~150V):±165μm
传感器:SGS
闭/开环分辨率:12/5nm
闭环线性度:0.1%F.S.
闭环重复定位精度:0.04%F.S.
俯仰/偏航/滚动:<10μrad
推/拉力:300/30N
运动方向刚度:1.2 N/μm
空载谐振频率:490Hz
闭/开环空载阶跃时间:80/40ms
承载能力:0.6kg
静电容量:24.6μF
工作温度:-40~+80℃
抗振设计:半正弦15g,11ms
后峰锯齿波20g,11ms
材质:钢、铝
重量:950g
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