一、压电纳米定位台简介
采用高性能压电驱动器
采用无摩擦柔性机构
二、真空无磁及其应用场景
三、真空版压电纳米定位台的设计
四、真空版压电纳米定位台实测特性
1)电压vs位移曲线
2)阶跃响应时间
小步进300ms(30μm,1.5kg负载)
3)真空版实测技术参数
五、真空版P60压电平台配套压电控制器
1)E53压电控制器频率vs负载曲线
2)E53压电控制器技术参数
六、真空版压电纳米定位台与压电控制器间的连接
七、真空版压电纳米定位台的应用前景