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XP-63X压电纳米定位台为压电陶瓷直驱X轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷，采用无摩擦柔性铰链导向机构，具有刚度大、分辨 率高、响应速度快等特点，可以通过自由组合的方式组成二维XY、三维XYZ纳米定位台。
产品特点
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外观形状 
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1~3维平移台
XP-63X系列压电纳米定位台可通过转接板连接， 组成XY，XZ，XYZ多种运动结构。 |
直驱机构式驱动示意图 
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小体积、高精度、响应速度快
XP-63X系列压电纳米定位台结构设计，具有大机械刚度、大承载、高的空载谐振频率等特点。负载情况下也具有高的使用频率，响应时间可 以实现亚毫秒级。例如,XP-630带载20g负载，响应时间仅为5ms。 |
传感器类型 
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应用实例 采用XP-633压电纳米定位台带载探针作精密位移定位检测控制，从而完成1mN的精确力控制实验。 
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XP-633位移与电压曲线 
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XP-633谐振频率与负载曲线 
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XP-633线性度曲线 
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产品应用
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| 技术参数 | |||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
XP-630.XS XP-630.XK |
XP-631.XS XP-631.XK |
XP-633.XS XP-633.XK |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
X |
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标称行程范围（0~120V） |
12 |
24 |
48 |
μm±10% |
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行程范围（0~150V） |
15 |
30 |
60 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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闭/开环分辨率 |
0.5/0.1 |
1/0.2 |
2/0.3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
0.15/- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
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俯仰/偏航/滚动 |
<20 |
<25 |
<30 |
μrad |
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推/拉力 |
480/80 |
480/80 |
480/80 |
N |
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运动方向刚度 |
40 |
20 |
10 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
3.2 |
2.4 |
1.5 |
kHz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
1.5/0.8 |
3/1.6 |
5/3.2 |
ms±20% |
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承载能力 |
5 |
5 |
5 |
kg |
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静电容量 |
1.8 |
3.6 |
7.2 |
μF±20% |
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材质 |
铝 |
铝 |
铝 |
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重量 |
150 |
250 |
450 |
g±5% |
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位移与电压曲线 |
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线性度曲线 |
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谐振频率与负载曲线 |
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注：以上参数是采用E00/E01 系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在-20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在0~120V。
**可定制低温版本及高真空版本。
***连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。 运动台面平行度约20um，粗糙度约1.6至3.2，特殊要求请在购买前与销售工程师确认。
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陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
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钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
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粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
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P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
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BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
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BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
