N31 系列直线压电马达,内部采用 PZT 压电式驱动,直线运动行程可选6、10、 25、50、100mm,可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器(光栅传感器),具有更高的定位精度。
可选移动台面。
产品特点
大出力 |
闭环误碰后自动归位 |
可软件操作自动找零位 |
可选光栅数字闭环 |
采用耐磨材料 |
可选二/三维 |
可定制真空版本 |
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可选移动台面 |
N31.100E |
结构原理 |
技术参数 | |||||||
型号 |
尾缀E-闭环 尾缀K-开环 |
N31.X6E N31.X6K |
N31.X10E N31.X10K |
N31.X25E N31.X25K |
N31.X50E N31.X50K |
N31.X100E N31.X100K |
单位 |
运动自由度 |
X |
X |
X |
X |
X |
|
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集成传感器类型 |
光栅传感器/- |
光栅传感器/- |
光栅传感器 |
光栅传感器/- |
光栅传感器/- |
|
|
标称行程范围 |
6或±3 |
10或±5 |
25或±12.5 |
50或±25 |
100或±50 |
mm±0.5mm |
|
速度上限 |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
mm/s |
|
闭/开环分辨率 |
<50/1 |
<50/1 |
<50/1 |
<50/1 |
<50/1 |
nm |
|
线性度 |
1/- |
1/- |
1/- |
1.5/- |
2/- |
μm |
|
重复度 |
0.5/- |
0.5/- |
1/- |
1.5/- |
2/- |
μm |
|
推/拉力(主动) |
30 |
30 |
30 |
30 |
30 |
N |
|
保持力(被动) |
40 |
40 |
40 |
40 |
40 |
N |
|
Max.承载(水平方向) |
5 |
5 |
5 |
5 |
5 |
Kg |
|
工作温度 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
0~50 |
℃ |
|
质量(包含电缆) |
545 |
550 |
565 |
590 |
640 |
g±5% |
|
材质 |
铝,不锈钢 |
铝,不锈钢 |
铝,不锈钢 |
铝,不锈钢 |
铝,不锈钢 |
|
|
电缆长度 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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推荐控制器 |
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参数表/Specs Sheet |
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三维图/step |
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应用案例
低温真空 |