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N31 系列直线压电马达,内部采用 PZT 压电式驱动,直线运动行程可选6、10、 25、50、100mm,可达亚纳米级分辨率。可选配闭环伺服传感器(光栅传感器),具有更高的定位精度。

可选移动台面。


产品特点


 大出力

 闭环误碰后自动归位

 可软件操作自动找零位

 可选光栅数字闭环

 采用耐磨材料

 可选二/三维

 可定制真空版本



可选移动台面

N31.100E

结构原理

    技术参数

型号

尾缀E-闭环

尾缀K-开环

N31.X6E

N31.X6K

N31.X10E

N31.X10K

N31.X25E

N31.X25K

N31.X50E

N31.X50K

N31.X100E

N31.X100K

单位

运动自由度

X

X

X

X

X

集成传感器类型

光栅传感器/-

光栅传感器/-

光栅传感器

光栅传感器/-

光栅传感器/-

标称行程范围

6或±3

10或±5

25或±12.5

50或±25

100或±50

mm±0.5mm

速度上限

5

5

5

5

5

mm/s

闭/开环分辨率

<50/1

<50/1

<50/1

<50/1

<50/1

nm

线性度

1/-

1/-

1/-

1.5/-

2/-

μm

重复度

0.5/-

0.5/-

1/-

1.5/-

2/-

μm

推/拉力(主动)

30

30

30

30

30

N

保持力(被动)

40

40

40

40

40

N

Max.承载(水平方向)

5

5

5

5

5

Kg

工作温度

0~50

0~50

0~50

0~50

0~50

质量(包含电缆)

545

550

565

590

640

g±5%

材质

铝,不锈钢

铝,不锈钢

铝,不锈钢

铝,不锈钢

铝,不锈钢

电缆长度

1.5

1.5

1.5

1.5

1.5

m±10mm

推荐控制器

E71.D4E/K-H

E71.C4E/K-H

E71.D4E/K-H

E71.C4E/K-H

E71.D4E/K-H


参数表/Specs Sheet


三维图/step


    尺寸图(点击图片可放大查看)

    带移动台面尺寸图(点击图片可放大查看)

    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
带移动台面


无移动台面
使用说明书/Manual


应用案例


低温真空


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    经销商 最终用户
  • 客户类型:
    企业 高校 研究所
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