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XD701 压电物镜驱动器是专为多头物镜使用而设计，它预留多种安装固定孔，易于不同物镜间的更换。
产品特点
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| 技术参数 | ||
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名称 |
闭环参数 |
单位 |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
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标称行程范围（0 ~+120 V） |
160 |
μm±20% |
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最大行程范围（0~+150 V） |
200 |
μm±20% |
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传感器类型 |
SGS/- |
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通孔尺寸 |
Ф30 |
mm±0.05 |
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闭/开环分辨率 |
7 |
nm |
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闭环线性度 |
0.05 |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.01 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
330 |
Hz±20% |
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最大承载 |
1.5 |
Kg |
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静电容量 |
10.8 |
μF±20% |
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