测量/激光技术/光学检测/摩擦学
我公司精密定位台和促动器已经在许多非接触式光学检测系统和接触式纳米测量系统中大量运用。我公司定位产品所具备的亚纳米精度、一致性好、纳米至亚纳米级的平面度和直线度是这些领域技术突破的前提。通过应用高级数字控制方法，扫描线性度可以提高数个数量级，而跟踪误差减小到亚原子水平。我公司的电容纳米测量传感器可以测量亚纳米范围的运动并具有很高的带宽。
我公司的压电驱动促动器和纳米定位传感器同时也是纳米压印/微米压印机构以及纳米摩擦学/纳米制造实验的理想组件。
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应用 |
解决方案 |
典型产品 |
产品展示 |
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扫描干涉 白光干涉 |
物镜纳米聚焦系统 压电扫描台 Z向移相器 |
XP-721/P72物镜压电驱动器 P16小型XY扫描 |
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纳米材料测试 纳米摩擦学 纳米厚度测量 纳米压印 接触式表面形貌仪 |
音圈扫描器 微定位台 压电直线平移台 |
VS12系列预负载压电促动器 P16 XY压电扫描器 |
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