六自由度平台可在六个自由度即X、Y、Z、θx、θy、θz方向产生运动。它的并联结构设计是通过六个压电促动器相联接,每个促动器通过铰链与运动平面相连接。而整个运动平台的运动就是通过这六个分支的压电驱动促动器的伸缩来实现,它是一种复杂的六自由度相协调的空间运动。
与传统的叠堆式平台相比,它具有更高的刚度,更高的负载能力,且它的结构设计复杂,误差也较平均化,响应速度更快。但它要比其它单独直线或单独偏转的平台要更难控制,对软件的设计要求也更高。
六自由度并联机构具有非常高的灵活度,可做六个自由度的任意方向的超精密运动。 六自由度并联机构的应用非常广泛,包括医疗研究、光学系统、显微成像、纳米精度定位等。
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型号选择请参考六自由度并联机构造型指南。