- 产品介绍
- 相关控制器
- 价格及周期
- 意见反馈
H60系列六轴压电纳米定位台，是θx、θy、θz、X、Y、Z六轴运动工作台，通过六支压电促动器的并联协调伸缩实现空间内六个自由度的运动，台体结构紧凑，三种规格型号可供选择，闭环型号定位精度更高，适用于六自由度微操作、微电子精密加工、检测等应用。
产品特点
|
|
|
|
|
|
压电式驱动 
|
运动轴 
|
性能测试 
|
|
位移与电压曲线 
|
角运动分辨率曲线 
|
相关产品
典型应用
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 技术参数 | |||
|
尾缀S-闭环 |
H60.XYZTR5S |
H60.XYZTR5K |
单位 |
|
尾缀K-开环 |
|||
|
运动自由度 |
X, Y, Z, θx, θy, θz |
X, Y, Z, θx, θy, θz |
|
|
驱动控制 |
6路驱动，6路传感 |
6路驱动 |
|
|
X、Y轴标称行程范围（0~+120V） |
±40 |
±40 |
µm±20% |
|
Z轴标称行程范围（0~+120V） |
±27.5 |
±27.5 |
µm±20% |
|
θx,θy 轴偏摆角度范围（0~+120V） |
±0.6（≈±123 秒） |
±0.6（≈±123 秒） |
mrad±20% |
|
θz 轴旋转角度范围（0~+120V） |
±0.8（≈±165 秒） |
±0.8（≈±165 秒） |
mrad±20% |
|
θx、θy 轴偏摆分辨率 |
优于0.5（≈0.1 秒） |
优于0.5（≈0.1 秒） |
μrad |
|
θz 轴偏摆分辨率 |
优于0.5（≈0.1 秒） |
优于0.5（≈0.1 秒） |
μrad |
|
X、Y 轴位移分辨率 |
优于0.5 |
优于0.5 |
nm |
|
Z 轴位移分辨率 |
优于0.5 |
优于0.5 |
nm |
|
闭环线性度 |
优于0.1 |
- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
优于0.1 |
- |
%F.S. |
|
承载能力 |
5 |
5 |
kg |
|
结构形式 |
六自由度并联式 |
|
|
|
工作温度范围* |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
驱动方式 |
压电陶瓷促动器驱动 |
|
|
|
重量 |
1300 |
1300 |
g±5% |
|
出线长** |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器** |
LEMO |
LEMO |
|
*可定制低温版本及高真空版本。
**线长及连接器可定制。
注：以上所提参数与测试环境、测试设备有关。
|
|
|
|
|
|
陶瓷转接头 |
氧化铝转接头 |
金属转接头 |
促动器柔性转接头 |
|
|
|
|
|
|
钨钢垫片 |
热稳定散热片 |
促动器与平台转接座 |
促动器测试支架 |
|
|
|
|
|
|
粘镜片胶水 |
P34 镜片转接架 |
P32/ P33 镜片转接架 |
P32/P33 镜片转接座 |
|
|
|
|
|
|
P22 测试支架 |
P32/P33 测试支架 |
P34 测试支架 |
P31/P54 测试支架 |
|
|
|
|
|
|
BNC转LEMO |
BNC转鱼夹 |
单芯LEMO座转鱼夹 |
单芯LEMO线 |
|
|
|
|
|
|
BNC连接头转鱼夹 |
LEMO 连接器 |
测试支架 |
磁力表座 |
