型号

轴

角度范围

分辨率

H60.XYZTR1

θx、θy、θz、X、Y、Z

±0.16mrad（≈±30秒）/轴

±0.24mrad（≈±50秒）

±6.5μm/轴

±3.2μm

0.01μrad（＜ 0.01秒）

0.02μrad（＜ 0.01秒）

0.4nm

0.2nm

H60.XYZTR2

θx、θy、θz、X、Y、Z

±0.32mrad（≈±66秒）/轴

±0.48mrad（≈±99秒）

±12.5μm/轴

±6.4μm

0.02μrad（＜0.01秒）

0.03μrad（＜0.01秒）

0.8nm

0.4nm

H60.XYZTR5

θx、θy、θz、X、Y、Z

±0.64mrad（≈±130秒）/轴

±0.96mrad（≈±198秒）

±25μm/轴

±12.8μm

0.04μrad（＜0.01秒）

0.06μrad（≈0.01秒）

1.6nm

0.8nm

H61.XYZTR0S/K-B1

XY、Z、θx、θy、θz

±30μm/轴

Z：25μm

±0.15mrad/轴（≈±30.9秒）/轴

-

H61

θx、θy、θz、X、Y、Z

1mrad（≈200秒）/轴

6μm/轴

0.01μrad（＜0.01秒）

0.1nm

H62

θx、θy、θz、X、Y、Z

±12.5mrad（≈±2578秒）/轴

1.6mrad（≈330秒）

±100μm/轴

200μm

0.25μrad（≈0.05秒）

0.01μrad（＜0.01秒）

2nm

2nm