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H61系列六轴压电纳米定位台可产生六轴的超精密运动， 适用于静态六轴的直线纳米定位及角度纳弧度偏转，中心具有 50mm×50mm 的通孔，适于透射光应用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | ||
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型号 |
H61.XYZTR0S/K |
单位 |
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运动方向 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
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驱动控制 |
7 路驱动，6路传感 |
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XYZ 标称行程范围（0~120V） |
XY：100/ 轴，Z：25 |
μm±20% |
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XYZ Max.行程范围（0~150V） |
XY：125/ 轴，Z：31 |
μm±20% |
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θxθy 标称偏转行程（0~120V） |
±0.2/ 轴 |
mrad±20% |
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θxθy Max.偏转行程（0~150V） |
±0.25/ 轴 |
mrad±20% |
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θz 标称偏转行程（0~120V） |
0.12/ 轴 |
mrad±20% |
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θz Max.偏转行程（0~150V） |
0.15/ 轴 |
mrad±20% |
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闭 / 开环 θx、θy 轴偏摆分辨率 |
0.5/ 轴 |
μrad |
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闭 / 开环 θz 轴偏摆分辨率 |
0.5/ 轴 |
μrad |
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闭 / 开环 X、Y 轴位移分辨率 |
<10 |
nm |
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闭 / 开环 Z 轴位移分辨率 |
2.5 |
nm |
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闭环线性度 |
直线 0.2，偏转 0.2 |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
直线 0.1，偏转 0.1 |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
150 |
Hz±20% |
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负载谐振频率 |
70（@2kg） |
Hz±20% |
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传感器 |
SGS/- |
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承载能力 |
水平 2，立式 0.1，倒置 0.2 |
kg |
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中心通孔
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50×50 |
mm |
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使用方式 |
静态 |
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静电容量 |
XY：10.8/ 轴， |
μF±20% |
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重量 |
3 |
kg±5% |
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材质 |
钢、铝 |
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| 连接器 |
DB15公头×1+DB15母头×1 |
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注：
1.以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。
2.产品台体上具有连接器，采用独立线缆。
应用案例
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晶圆表面检测 
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