H62 系列六轴压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 六自由度并联系统>>H62 系列六轴压电纳米定位台
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产品特点


 X、Y、Z、θx、θy、θz 六轴运动 

 可选配闭环反馈传感器

 承载能力达 200g 

 超薄体积

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

H62.XYZTR25S

H62.XYZTR25K

单位

运动自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制

7 路驱动,6路传感

7 路驱动,6路传感

XYZ标称行程范围(0~100V)

XY:±80、Z:160

XY:±80、Z:160

μm±20%

XYZ标称行程范围(0~120V)

XY:±100、Z:200

XY:±100、Z:200

μm±20%

θxθyθz标称行程范围(0~100V)

θxθy:±10、θz:1.28

θxθy:±10、θz:1.28

mrad±20%

θxθyθz标称行程范围(0~120V)

θxθy:±12.5、θz:1.6

θxθy:±12.5、θz:1.6

mrad±20%

传感器类型

SGS

-

XYZ分辨率

7

2

nm

θxθyθz分辨率

θxθy:0.9、θz:0.06

θxθy:0.25、θz:0.01

μrad

闭环线性度

0.5

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

空载谐振频率

X140/Y150/Z200

θx270/θy280/θz110

X140/Y150/Z200

θx270/θy280/θz110

Hz±20%

承载能力

0.2

0.2

kg±5%

静电容量

XYθxθy:14.4

Z:28.8  θz:3.6

XYθxθy:14.4

Z:28.8  θz:3.6

μF/轴±20%

材质

钢、铝

钢、铝

重量

960(不含线)

960(不含线)

g±5%

注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。Max.驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V。

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参数表/Specs Sheet
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