型号

尾缀S-闭环

尾缀K-开环

H63.XYZTR1S

H63.XYZTR1K

单位

运动自由度

X、Y、Z、θx、θy、θz

驱动控制

7 路驱动，6路传感

XYZ标称行程（0~100V）

4/轴

4/轴

μm±10%

XYZ 行程范围（0~120V）

4.8/ 轴

4.8/ 轴

μm±10%

θxθyθz 轴标称偏转角度 (0~100V）

0.6/轴

0.6/轴

mrad±10%

θxθyθz 轴偏转角度(0~120V）

0.8/轴

0.8/轴

mrad±10%

传感器类型

SGS

-

闭/开环偏转分辨率

0.15

0.01

μrad

闭/开环直线分辨率

1.5

0.1

nm

闭环线性度

0.25

-

%F.S.

闭环重复定位精度

0.2

-

%F.S.

空载谐振频率

X2330/Y895/Z1425/

θx3485/θy5620/θz2300

Hz±20%

空载闭环阶跃时间

25

25

ms±20%

承载能力

500

500

 g

静电容量，XYZ

1.8

1.8

μF/轴±20%

静电容量，θxθyθz

3.6

3.6

μF/轴±20%

材质

钢、铝

钢、铝

工作温度范围[1]

-20~80

-20~80

℃

重量

440（不含线）

440（不含线）

g±5%

出线长[2]

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器[2]

DB15-HD（针）

DB15-HD（针）