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H60系列六自由度并联机构,是θx, θy, θz, X, Y, Z六轴运动工作台,通过六支压电促动器的协调伸缩实现空间内六个自由度的运动,台体结构紧凑,三种规格型号可供选择,闭环型号定位精度高,是六自由度微操作、微电子精密加工等应用。H60.XYZTR1S/K是H60系列中直线与角度位移较小的一款。


产品特点


 六维θx, θy, θz, X, Y, Z轴运动

 小耦合

 毫秒级响应时间

 纳米级定位精度

 误差无积累

 

 

 


六轴并联式机构

H60系列纳米定位台采用六轴并联式设计原理,内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源,可以实现1~6维的精密直线及角度运动。

该系列六轴并联机构可以选择开环或闭环版本,闭环版本采用高精度传感器对位置进行实时检测反馈,配置芯明天E00、E73等系列闭环压电控制器可以实时对位移进行精密调整,实现纳米级的精密定位控制。

六轴并联式机构

传感器类型

应用案例-显微成像台

六自由度纳米工作台作为微小器件表面形貌测量的全场并行共焦显微镜关键部件,它的驱动技术及驱动系统可实现微动平台的快速调整、高精度定位和微型化。

应用案例-显微成像台


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H60.XYZTR1S/K六轴并联机构
XY位移:±6.5μm
Z位移:±3.2μm
θx, θy偏转角度:±0.16mrad
θz旋转角度:±0.24mrad

H60.XYZTR2S/K六轴并联机构
XY位移:±12.5μm
Z位移:±6.4μm
θx, θy偏转角度:±0.32mrad
θz旋转角度:±0.48mrad

H60.XYZTR5S/K六轴并联机构
XY位移:±40μm
Z位移:±27.5μm
θx, θy偏转角度:±0.6mrad
θz旋转角度:±0.8mrad

 

 

    技术参数

型号

尾缀S-闭环

H60.XYZTR1S

H60.XYZTR1K

单位

尾缀K-开环

 运动自由度

X, Y, Z, θx, θy, θz

X, Y, Z, θx, θy, θz

 

 驱动控制

6路驱动,6路传感 6路驱动

 XY轴标称行程范围(0~+120V

±6.5

±6.5

µm±20%

 Z轴标称行程范围(0~+120V

±3.2

±3.2

µm±20%

 θx,θy 轴偏摆角度范围(0~+120V

±0.16

±0.16

mrad±20%

 θz 轴旋转角度范围(0~+120V

±0.24

±0.24

mrad±20%

 传感器类型

SGS

-

 

 θx,θy 轴偏摆分辨率

0.02

0.01

μrad

 θz 轴旋转分辨率

0.04

0.02

μrad

 XY轴直线分辨率

0.8

0.4

nm

 Z轴直线分辨率

0.4

0.2

nm

 闭环线性度

0.25

-

%F.S.

 闭环重复定位精度

0.1

-

%F.S.

 机械性能

 承载能力

5

5

kg

 其他

 工作温度范围*

-20~80

-20~80

°C

 材质

钢、铝

钢、铝

 

 重量

1000

1000

g±5%

 出线长

1.5

1.5

m±10mm

 传感/电压连接器**

LEMO

LEMO

*可定制低温版本及高真空版本。 

**连接器可定制。 

注:以上所提参数与测试环境、测试设备有关。

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
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Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual


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1路输出
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开环/闭环
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3路输出
模拟控制
闭环
平均电流25mA


工业式压电控制器

1路输出
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