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H63.XYZTR2S/K是X、Y、Z、θx、θy、θz 六轴运动压电纳米定位台，可产生六轴的超精密运动，适用于静态定位和动态调姿。其内置高性能压电陶瓷，可实现XYZ36μm/轴的直线位移和θxθy2/θz2.5mrad的偏转角度。闭环版本采用全桥设计避免了温度的漂移，确保了纳米级定位精度。
产品特点
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 承载可达5kg
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
H63.XYZTR2S |
H63.XYZTR2K |
单位 |
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运动方向 |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
X、Y、Z、θx、θy、θz |
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驱动控制 |
7 路驱动，6路传感 |
7路驱动 |
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XYZ 标称行程范围（0~120V） |
24/轴 |
24/轴 |
μm±10% |
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XYZ Max.行程范围（0~150V） |
30/轴 |
30/轴 |
μm±10% |
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θxθyθz轴标称偏转角度 (0~120V） |
θxθy1.6（≈330秒）/ θz2（≈412秒） |
θxθy1.6（≈330秒）/ θz2（≈412秒） |
mrad±10% |
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θxθyθz轴偏转角度 (0~150V） |
θxθy2（≈412秒）/ θz2.5（≈516秒） |
θxθy2（≈412秒）/ θz2.5（≈516秒） |
mrad±10% |
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传感器 |
SGS |
- |
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闭/开环直线分辨率 |
1 |
1 |
nm |
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闭/开环偏转分辨率 |
0.1（≈0.02秒） |
0.1（≈0.02秒） |
μrad |
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闭环线性度 |
XY0.07/Z0.19/
θx0.07/θyθz0.1
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- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
X0.02/Y0.03/Z0.09/
θx0.05/θy0.04/θz0.03
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- |
%F.S. |
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空载谐振频率 |
X465/Y295/Z445/
θx230/θy305/θz230
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X465/Y295/Z445/
θx230/θy305/θz230
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Hz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
X161/Y115/Z107/
θx22/θy24/θz45
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X161/Y115/Z107/
θx22/θy24/θz45
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Hz±20% |
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承载能力 |
5 |
5 |
kg |
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静电容量 |
X7.2/Y7.5/Z31.2/
θxθy1.1/θz17.7
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X7.2/Y7.5/Z31.2/
θxθy1.1/θz17.7
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μF±20% |
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闭环阶跃时间 |
XYZ160/θxθyθz400
@1Hz，固定幅值
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- |
ms±20% |
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材质 |
不锈钢、铝合金 |
不锈钢、铝合金 |
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重量 |
2.5（不含线） |
2.5（不含线） |
kg±5% |
应用案例
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晶圆表面检测 
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