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N91.XYZUR0K五轴压电螺钉位移台

更新时间：2025-05-08 10:30:31点击次数：228次
压电螺钉位移台是将压电螺钉促动器与滑台相结合，采用压电螺钉促动器的高精度运动控制滑台运动。多个压电螺钉位移台间可通过组维方式形成二维、三维运动控制或由多支压电螺钉促动器进行直线运动控制台体产生多维运动。

一维压电螺钉位移台运动效果
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芯明天部分多维压电螺钉位移台产品




N91.XYZUR0K五轴压电螺钉位移台

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N91.XYZUR0K五轴压电螺钉位移台是一款可在X、Y、Z、θy、θz五个维度运动的高精度平台，直线方向可实现XY4mm/Z2mm的位移，角度方向可实现±4°/轴的偏转行程。角度分辨率可达0.2μrad，直线分辨率小于30nm，可承载1.2kg样品移动，该位移台搭配芯明天E53.C4K系列小体积压电马达控制器，配合精密算法，可完成五轴的高精度运动控制。产品如下图所示。
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产品特点



运动自由度：X、Y、Z、θy、θz
直线行程可达：XY4/Z2mm
偏转行程：±4°/轴
断电自锁
承载能力：1.2kg
真空版本可定制

产品运动方式



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N91.XYZUR0K运动方向示意图

① CH1压电螺钉促动器可控制X轴运动
② CH2和CH3压电螺钉促动器同时运动可控制Y轴运动，单个运动可控制θz轴运动
③ CH4和CH5压电螺钉促动器同时运动可控制Z轴运动，单个运动可控制θy轴运动

产品应用



半导体、扫描电镜（SEM）样品操纵、原子力显微镜、晶圆加工与检测、探针台、激光加工、光路调整、激光稳定、光纤对准、光学测试系统、生物医疗、超分辨成像样品移动等。

技术参数



型号
N91.XYZUR0K
运动自由度
X、Y、Z、θy、θz
XYZ行程范围
XY4mm/Z2mm
直线分辨率
＜30nm
角度分辨率
0.2μrad
工作温度
0~40℃
材质
钢、铝
承载能力（水平安装）
1.2kg
重量
0.93kg
电缆长度
1.5m

配套控制器



芯明天E53.C4K压电控制器可用于驱动N91.XYZUR0K五轴压电螺钉位移台，采用24VDC/1A供电，4通道版本可使用切换方式驱动4支压电螺钉促动器，采用数字信号控制，可通过TYPE-C、RS-422、RS-232串口连接，尺寸为150×80×27.5mm^3，体积小、易集成。
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更多详情欢迎致电芯明天0451-86268790、17051647888（微信同号）！

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