01

水平安装

立式安装

倒置安装

02

1.半导体制造：在半导体芯片制造过程中，光刻环节对定位精度的要求近乎苛刻。压电纳米定位台可用于精确控制晶圆和掩模版的相对位置，确保光刻图案的精准转移。利用压电纳米定位台的超高精度，能够有效提高芯片制造的良品率，推动半导体制造工艺向更小制程、更高集成度发展。

2.显微/扫描：压电纳米定位台可提供亚纳米级精度、超高稳定性和快速响应能力，已成为现代显微成像与扫描技术的核心组件，广泛应用于超分辨显微镜、原子力显微镜（AFM）、共聚焦显微镜、电子显微镜（SEM/TEM）等设备。

3.光学测量：光学测量是利用光的性质如光的传播、反射、折射、干涉、衍射等，进行长度、形状、角度、颜色等精确测量的非接触式测量技术，压电纳米定位台以其高精度和快速响应的特点，在光学测量技术中提供纳米级精密定位，可使测量结果更精确。

03

E01.C1压电控制器非常适用于驱动P66.X5K压电纳米定位台。E01.C1是一款机箱式单通道压电陶瓷控制器。输出电压范围-20V~120V，带宽10kHz，可手动调节、模拟输入、自发波形控制，配备计算机串口/USB接口，液晶键盘显示，操作便捷。