特 点
X向运动,1~3维运动可选
手调千分尺行程13mm,分辨率达10µm
压电精调行程100µm,分辨率达4nm
压电调节可选配传感器
技术参数
型号:P84.X100S
运动自由度:X
行程范围(粗调+精调):13mm+100μm
壳体材料:钢、铝
粗调行程范围:13mm
粗调分辨率:10μm
粗调驱动方式:螺纹副(分厘卡)
粗调灵敏度:<2μm
粗调读数:10微米/格
螺距:0.5mm/rev.
精调行程范围@120V:80μm
精调行程范围@150V:100μm
精调传感器类型:SGS
精调步进(分辨率):7 nm, typ.
精调闭环线性度:0.1%F.S.
精调重复定位精度:0.05%F.S.
精调运动方向推力:16N
应用举例-挤压/厚度检测
可选配移动台面