产品特性
运动自由度:θx、θy、Z
直线行程:100μm@150V
偏摆角度:±1.1mrad/轴@150V
直线分辨率可达4nm
偏摆分辨率可达0.05μrad
通孔尺寸:80×80mm
承载可达1kg
仿真分析
带载阶跃时间