X向运动、大负载
电容式传感器
三种位姿、易使用
产品应用
技术参数
型号 |
XD605.X90C/K |
运动自由度 |
X |
驱动控制 |
1路驱动,1路电容传感 |
标称行程范围(0~120V) |
76μm |
行程范围(0~150V) |
95μm |
传感器 |
CAP/- |
分辨率 |
3nm |
闭环线性度 |
0.02%F.S./- |
闭环重复定位精度 |
0.005%F.S./- |
俯仰 |
<5μrad |
偏航 |
<5μrad |
滚动 |
<5μrad |
空载谐振频率 |
615Hz |
带载谐振频率@5kg |
310Hz |
闭环阶跃时间@5kg |
8ms@20μm |
承载能力 |
正立10kg |
卧式5kg |
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倒置10kg |
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静电容量 |
37μF |
材质 |
铝合金 |
重量(含线) |
5.7kg |
配套控制器