压电式移相器
芯明天P77压电式移相器
芯明天设计的压电式移相器通过3组压电陶瓷叠堆驱动,可用于直径达106mm孔径镜片,位移行程可达20um以上。实验已证明,该压电式移相器效果比较好,且控制精度可达亚纳米级,它可大大提高测量精确度,在相位测量技术中具有广泛的实用价值,且已广泛用于各种现代干涉仪器中。
激光平面干涉仪
压电式移相器在全息干涉计量术中的应用
在全息干涉计量术中,需要确定物体位移及形变的大小及方向,在实时检测过程中还需要对物体位移、形变的方向做出即时、迅速的判断。而这种判断的方法有很多,但有的较麻烦、有的计算复杂、有的需要特殊装置,还有的看上去非常不直观等等,这都给全息干涉计量带来很多不便。
而压电移相器恰恰能解决以上所有问题。
在实时全息干涉计量术中,为了判别物体位移、形变的方向,在参考光路上放置一个压电移相器,它实际上是一面利用压电效应控制其空间位置的小反射镜,我们使用这个移相器,镜面直径可达106mm,控制电压在0-120V范围内调节反射镜前后移动20微米。利用压电移相器来改变参考光光程,并根据此时干涉条纹的动向来判断物体位移、形变的方向,此方法简单、方便、直观,能迅速地对物体位移、形变的方向作出可靠的判断。
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