P79系列Z向样品升降压电扫描台为一维Z轴微动平台,它的移动范围可达210µm,定位分辨率可达3nm。
P79平台可对样品进行Z轴快速精密的聚焦调节,阶跃时间达毫秒量级。主要用于配套宏动XY轴运动扫描平台或压电马达平台使用,在宏动平台进行样品位置的粗调后,再通过P79压电扫描台进行样品位置的精确调整,定位精度达纳米量级。
特性:
• Z向运动范围达210μm • 承载2kg • 通孔尺寸128.5×86.5mm • 闭环重复定位精度高 • 开环/闭环可选
典型应用:
• 荧光显微 • 共焦显微 • 自动聚焦系统 • 生物科技 • 3D成像 • 样品检测
两款规格型号、开环/闭环可选
P79系列Z向扫描台具有两种Z向行程范围可供选择,分别为110μm及210μm,可根据精确调整的运动范围进行选择。
另外,P79系统可提供开环及闭环版本。开环版本定位速度快,且分辨率高;对于有定位精度及稳定性需求的应用,可以选择配置SGS闭环传感器,装配在平台适合的位置,提供高分辨率、快速响应的传感电压信号给压电控制器。全桥设计避免了温度的漂移,确保了定位精度。
大通孔、快速聚焦、Z向捕获、超精密导向机构
P79系列压电扫描台具有方形通孔,通孔尺寸为128.5×86.5mm,这种大通孔设计主要是为了满足各种样品夹持结构,如多井控制盘。
压电陶瓷驱动以及无摩擦柔性铰链结构使其具有快的响应速度,Z轴步进速度和稳定时间仅为马达驱动的1/20,大大提高了成像捕获能力和生产能力。
表面绝缘压电陶瓷提供寿命长
压电扫描台采用高一致性、高稳定性的表面绝缘压电陶瓷,陶瓷抵抗外部环境的能力高且无漏电现象。
频率负载曲线
P79系列技术参数
型号 |
尾缀S-闭环 |
P79.Z100S |
P79.Z200S |
单位 |
尾缀K-开环 |
||||
运动自由度 |
Z |
Z |
|
|
运动和定位 |
||||
标称行程范围(0~120V) |
80 |
150 |
µm±20% |
|
行程范围(-20~150V) |
110 |
210 |
µm±20% |
|
传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
|
|
通孔尺寸 |
128.5×86.5 |
128.5×86.5 |
mm |
|
闭/开环分辨率 |
7/3 |
8/5 |
nm,typ. |
|
闭环线性度 |
0.1/- |
0.15/- |
%F.S. |
|
闭环重复定位精度 |
0.05/- |
0.1/- |
%F.S. |
|
俯仰/偏航/滚动 |
<15 |
<20 |
µrad |
|
机械性能 |
||||
运动方向推/拉力 |
30/15 |
42/18 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.3 |
0.2 |
N/µm±20% |
|
空载谐振频率 |
0.2 |
0.15 |
kHz±20% |
|
闭/开环空载阶跃时间 |
15/2.3 |
25/5 |
ms±20% |
|
闭环空载工作频率* |
10%行程 |
50 |
25 |
Hz±20% |
100%行程 |
15 |
5 |
||
承载能力 |
2 |
1.5 |
Kg |
|
驱动性能 |
||||
静电容量 |
5.4 |
11 |
μF±20% |
|
其他 |
||||
工作温度范围** |
-20~80 |
-20~80 |
°C |
|
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
|
外形尺寸(长×宽×高) |
210×138×27.3 |
210×138×27.3 |
mm |
|
重量 |
700 |
800 |
g±5% |
|
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
|
传感/电压连接器*** |
LEMO |
LEMO |
|
推荐配套小体积E53系列控制器使用
型号 |
E53.A |
E53.B |
E53.D |
外形尺寸 |
70×27.5×77 |
105×27.5×81.5 |
130×27.5×80 |
闭环反馈系统 |
x |
√ |
√ |
上位机通信 |
x |
x |
√ |
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