01
迟滞特性
02
蠕变特性
03
闭环修正
以芯明天P66系列压电纳米定位台为例:
P66 系列压电纳米定位台闭环版本内部配有高分辨率及快速响应的应变传感器(SGS),配备在驱动机构的合适位置,它可向控制器反馈高带宽、高精度的电压信号。传感器使用全桥配置以消除热漂移,使得闭环线性度可达到0.1%F.S.。
P66.X30S闭环线性度曲线
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