压电平台的特点是纳米级高分辨率、毫秒至亚毫秒级响应速度、纳米级定位精度等,因此它非常适于快速、精准的位置调节应用,如样品的显微聚焦、微结构的超精密加工、光路的调整、毫牛级力的控制、图像的稳定及分辨率增强、白光干涉等等。
针对该类要求,芯明天提供定制化集成手调平台或电动平台的压电平台,从而既可完成位置的粗调,又可完成纳米级精度的精调。下图所示,为一款定制型宏微复合压电平台,集成手调台的压电平台。
该款宏微复合压电平台的粗调为XY方向,每轴行程为13mm,读数精度为10μm;压电平台精调部分的行程为100μm,精调分辨率达7nm,并且压电部分配有位置传感器,定位精度非常高。