P15 压电扫描台是快速、高精度的三轴扫描和纳米定位台,具有非常高的直线度。中心通孔66×66 mm,非常适于透射光应用,如近场扫描或共焦显微镜和掩模定位。P15 压电扫描台运动行程为300μm/ 轴,它的内部采用有限元分析(FEA)优化的线切割挠曲铰链结构。 FEA 使其设计具有尽可能高的刚度,并使线性和角度跳动最小化。
特点
应用
可选配闭环反馈传感器
技术参数
型号 |
P15.XYZ300S P15.XYZ300K |
单位 |
|
运动自由度 |
X、Y、Z |
|
|
标称行程范围 (0~120V) |
240 |
μm |
|
最大行程范围 (0~150V) |
300 |
μm |
|
传感器类型 |
SGS |
|
|
通孔尺寸 |
60*60 |
mm |
|
闭 / 开环分辨率 |
13/6 |
nm |
|
闭环线性度 |
0.2 |
%F.S |
|
闭环重复定位精度 |
0.1 |
%F.S |
|
俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<30 |
μrad |
|
推 / 拉力 |
50/10 |
N |
|
运动方向刚度 |
0.1 |
N/μm |
|
空载谐振频率 X/Y/Z |
450/550/120 |
Hz |
|
闭 / 开环空载阶跃时间 |
60/10 |
ms |
|
闭环空载 工作频率 |
10%行程 |
50 |
Hz |
100%行程 |
10 |
||
最大承载 |
0.5 |
kg |
|
静电容量 |
10.8/ 轴 |
μF |
|
材质 |
铝 |
|
|
重量 |
900 |
g |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。
带载阶跃时间