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压电偏转运动与控制系统
更新时间:2019-12-30 10:44:56点击次数:1589次
P32系列压电偏转镜提供两轴θx、θy的高速精密偏转运动及Z 轴直线运动,直线运动的分辨率可达亚纳米级、偏转分辨率达亚微弧度,响应时间可达毫秒量级。
特点
• θx, θy 偏转,Z 轴升降
• 偏转范围达6mrad
• 毫秒级响应时间
• 闭环定位精度高
典型应用
• 图像处理与稳定
• 光学捕获
• 激光扫描与光束偏转
• 激光调谐
• 光过滤/光开关
• 光学/光束稳定
工作原理
P32压电偏转镜是基于3个压电陶瓷机构设计而成的,由三支压电陶瓷驱动,以120°角平分放置,采用坐标变换,运动可以分不同机构之间控制。
这种结构设计除了可实现平台的倾斜,也可实现平台Z向的直线移动,可以用于校正光学路径长度。
如下图所示,A、B、C表示测量的3点处位移量,两轴摆角及Z向位移的简便计算公式分别如下。
技术参数
型号:
P32
运动自由度:
θx, θy, Z
θx, θy偏转角度:
5mrad@120V
θx, θy偏转角度:
6mrad@150V
Z向行程:
30μm@120V
Z向行程:
37.5μm@150V
传感器类型:
SGS
闭/开环偏转分辨率:
0.1/0.05μrad
闭/开环直线分辨率:
1/0.5 nm
闭环线性度:
0.05%F.S.
闭环重复定位精度:
0.02%F.S.
空载谐振频率:
2kHz
闭/开环空载阶跃时间:
5/2ms
静电容量:
3.6μF/轴
材质:
钢
重量:
350g
推荐控制器-E70压电控制器
E70系列压电控制器是一款小体积、大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的3通道压电陶瓷控制器。
该控制器采用专用运放电路保证了高压大电流的输出能力,通过优化传感伺服模块从而提高了PI调节与控制的精度与稳定性,可靠的抗干扰设计保证了控制器的高频响应速度。
E70.D3S压电控制器采用DC24V供电、集成数字与模拟控制功能、开/闭环可选、RS-232/RS-422/USB通讯可选、集成式PZT&sensor迷你接口便于连接,外部可设定控制功能,操作简单便捷。
技术参数
型号:
E70.D3S-I2
功能:
数字与模拟集成式控制器
通道数:
3
模拟输入范围:
0-10V
输出电压范围:
0-120V(可选 0-150V)
第三通道恒压输出
峰值电流:
1.1A/通道
平均电流:
70mA/通道
放大器带宽:
10kHz/通道
输出电压纹波:
5mV(2.2μF)
PZT连接器:
ECG.1B.314(LEMO)
控制输入连接器:
SMB
传感器类型:
SGS
Sensor输出连接器:
EPG.0B.304(LEMO)
传感输出纹波:
10mV
通信接口:
RS-232/422、USB
上位机软件可二次开发
工作温度范围:
0-50℃
尺 寸:
168.5×134×45.5mm
重 量:
1.2kg
供电电压:
24V DC1.5A(36W)
具有过流保护
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