XD302-D1技术参数

型号：XD302-D1

运动方向：θx、θy

标称行程范围（0~120V）：3或±1.5mrad

开环分辨率：0.03μrad

空载谐振频率：15kHz

带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片）：10kHz

静电容量：1.6μF/轴

材料：钛合金、钢

质量：30g

驱动控制：三路驱动（含1路恒压）

外径/高：15.6/30mm

XD302-D2技术参数

型号：XD302-D2

标称行程范围（0~120V）：1.5或±0.75mrad

开环分辨率：0.02μrad

空载谐振频率：15kHz

带载谐振频率（φ12.5×3mm镜片)：10kHz

静电容量：0.7μF/轴

材料：钛合金、钢

质量：20g

驱动控制：三路驱动（含1路恒压）

外径/高：15.6/21mm