配有电容位移测量验证的压电控制器
更新时间：2020-07-17 15:08:06点击次数：2467次
配有电容位移测量验证的压电控制器，如此之叫法，是因其本质为压电控制器，但与通常压电控制器不同的是，它额外配有电容式位移测量模块，该模块可用于测量微运动型产品的位移量，测量范围一般为0~200μm。该压电控制器的功能及使用方法如下。
功能1：可用于验证闭环压电纳米定位系统的位移量
功能2：可用于验证开环压电纳米定位系统的位移量
功能3：可作为压电纳米定位系统的闭环控制
在开环压电纳米定位系统中配备该电容式位移测量模块，可作为压电控制器的伺服控制，使得整个系统形成闭环控制。另外，集成该电容式位移测量模块的压电控制器，它也可以同“功能2”一样，可对压电纳米定位系统自身的位移量进行测量。两种流程如下图所示。
功能4：可测量其他运动设备的位移量
若您正使用的其他压电运动设备，位移范围在0~200μm范围内，也可使用该电容式压电控制器进行测量。
