压电纳米定位台用于硬盘测试
更新时间：2021-02-01 09:44:31点击次数：4077次
特点
• 行程范围60μm
• 承载能力5kg
• 重复定位精度可达0.05%F.S.
• 亚毫秒响应时间
刚度大 闭环精度高
频率负载曲线
技术参数
型号：XP-633
运动自由度：X
行程范围（0~120V）：48μm
行程范围（0~150V）：60μm
闭环传感器类型：SGS
闭/开环分辨率：2/0.3nm
闭环线性度：0.15%F.S.
闭环重复定位精度：0.1%F.S.
俯仰/偏航/滚动：<30μrad
推/拉力：480/80N
运动方向刚度：10N/μm
空载谐振频率：1.5kHz
闭/开环空载阶跃时间：5/3.2ms
承载能力：5kg
静电容量：7.2μF
材质：铝
重量：450g
