飞秒激光刻蚀中压电纳米扫描台的应用！
什么是飞秒激光
飞秒激光的特点
激光刻蚀原理与典型应用
1
基本原理
2
技术特征介绍
3
典型应用
芯明天P12A压电扫描台
应用于飞秒激光刻蚀
技术参数
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型号 |
P12A.XYZ100 |
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运动自由度 |
XYZ |
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驱动控制 |
3 路驱动
3 路传感 |
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标称行程范围
（0~120V） |
80μm/轴 |
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传感器类型 |
SGS |
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通孔尺寸 |
45×45mm^2 |
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闭 / 开环分辨率 |
3nm/1nm |
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闭环线性度 |
0.15%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1%F.S. |
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俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<20μrad |
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推 / 拉力 |
20N/4N |
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运动方向刚度 |
X0.3N/μm、Y0.25N/μm、Z0.2 N/μm |
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空载谐振频率 |
X200Hz/Y150Hz/Z120Hz |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
30ms/0.8ms |
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承载能力 |
0.5kg |
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静电容量 |
3.6μF/轴 |
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材质 |
钢、铝 |
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重量 |
350g |
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型号 |
P12A.XYZ200 |
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运动自由度 |
XYZ |
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驱动控制 |
3 路驱动
3 路传感 |
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标称行程范围
（0~120V） |
160/轴 |
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行程范围（0~150V） |
200/轴 |
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传感器类型 |
SGS |
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闭 / 开环分辨率 |
5.5nm/2nm |
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闭环线性度 |
0.5%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.4%F.S. |
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空载谐振频率 |
X150Hz/Y130Hz/Z90Hz |
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承载能力 |
0.3kg |
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静电容量 |
7.2μF/ 轴 |
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材质 |
钢、铝 |
配套控制器
