N18.Z5K压电马达内部采用粘滑原理驱动,将压电陶瓷的微变形量,通过特殊结构设计,输出宏动直线毫米行程,实现高精度定位。N18.Z5K为Z向升降式压电马达平台,行程可达5mm,分辨率可达6nm,速度可达3mm/s,可在真空、低温、无磁的应用环境中使用。它的运动形式为整体运动面做Z向升降,可使带载样品四周不受遮挡,其尺寸仅为24×24×20mm^3,专为空间受限的应用而设计。产品外观如下图所示。
产品特点
产品应用
技术参数
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配套控制器