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H60.XYZTR5六自由度并联机构

更新时间：2024-11-21 11:02:28点击次数：718次
随着科研及工业领域科技的不断提升，对于灵活运动且高精密的定位系统需求越来越多。芯明天研发生产压电纳米定位台可产生1~6轴运动，可直线，可偏转，且速度快、精度高，可广泛用于半导体、光学、医疗、航空航天、生物科技等微纳操作领域。

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H60.XYZTR5六自由度并联机构



H60.XYZTR5系列六自由度并联机构压电纳米定位台，是X、Y、Z、θx、θy、θz六轴运动定位台，内置高可靠性压电陶瓷作为驱动源，通过六支压电促动器的协调伸缩，配合先进的控制算法，实现空间内1~6维的精密直线及角度运动，台体结构紧凑。由于采用了并联运动设计，它可以执行复杂的多轴运动轨迹，闭环版本配置高精度传感器对位置进行实时监测反馈，实现纳米级的精密定位控制，具有高刚度、高可靠性和重复性。此版本为真空版本，可进行真空环境适配。产品外观如下图所示。

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产品特点

六自由度运动
大承载
闭环定位精度高
误差无积累


产品应用

半导体设备
光学
晶圆检测微加工
医疗
航空航天


技术参数

型号
H60.XYZTR5S/K
运动自由度
X、Y、Z、θx、θy、θz
驱动控制
6路驱动，6路传感
X、Y轴标称行程范围
（0~120V）
±40μm
Z轴标称行程范围
（0~120V）
±27.5μm
θx、θy轴偏摆角度范围
（0~120V）
±0.6mrad
θz轴旋转角度范围
（0~120V）
±0.8mrad
θx、θy、θz轴偏摆分辨率
优于0.5μrad
X、Y、Z轴位移分辨率
优于0.5nm
闭环线性度
优于0.1%F.S.
闭环重复定位精度
优于0.1%F.S.
结构形式
六自由度并联式
驱动方式
压电陶瓷促动器驱动
承载能力
5kg
重量
1300g


配套控制器

E70.D6S压电控制器非常适用于驱动H60.XYZTR5六自由度压电运动平台。E70.D6S是一款大功率、低功耗、高带宽、低纹波噪声的压电陶瓷控制器。E70.D6S为2个模块化E70系列压电陶瓷控制器级联形成，单个E70模块通道数为3通道，最多可级联32个模块，达96通道。控制器采用DC24V供电，可通过外部模拟信号或RS-422接口数字通信进行控制、开/闭环可选、集成式PZT&sensor接口便于连接，外部可设定控制功能，操作简单便捷。

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