S54.T1S/K-C系列压电偏摆台是一款高精度压电偏摆台,可产生θx、θy二维偏转运动。整体采用无摩擦柔性铰链结构设计,具有响应速度快、定位精度高的特点。此款压电偏摆台配合闭环传感器可实现0.011%F.S.的重复定位精度,适用于各种高精度应用。它的中心具有大型通孔设计,透光孔径为110×80mm^2,也适用于透射光应用等。产品外观如下图所示。
产品特点
01
θx、θy二维偏摆
02
闭环重复定位精度高
03
闭环快速阶跃
04
中心大通孔
产品应用
技术参数
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配套控制器