技术参数
型号:XD601.XYZ
运动自由度:XYZ
行程范围@120V:X130/Y130/Z250μm
行程范围@150V:X180/Y180/Z300μm
闭环传感器:SGS
闭分辨率:XY7nm Z10nm
承载能力:0.2 kg
压电控制器
技术参数
型号:E70.D3S
通道数:3
模拟输入:0~10V
输出电压:0~120/150V
平均电流:70mA
放大器带宽:10kHz
传感器类型:SGS
通信接口:RS-232/422
重 量:1.2kg
供电电压:24V DC1.5A(36W)