特点
• θx、θy 偏转,Z轴升降
• 中心通孔:Ø10mm
• Z向行程10μm
• 偏转角度可达1.5mrad/轴
• 温度稳定性高
应用
• 图像处理与稳定
• 激光扫描/光束偏转
• 主动及自适应光学
• 光学滤波器
• 光束稳定
中心通孔 高动态性
可配套镜片转接座
技术参数
型号:S23.ZT1K
运动自由度: θx、θy、Z
θx、θy偏转角度(0~120V):1.2mrad(≈240”)
Z向直线行程(0~120V):8μm
θx、θy偏转角度(0~150V):1.5mrad(≈300”)
Z向直线行程(0~150V):10μm
θx、θy偏转分辨率:0.02μrad(<0.01”)
Z向位移分辨率:0.1nm
空载谐振频率:θx6.9/θy6.9/Z16.5kHz
空载阶跃时间:0.5ms
静电容量:0.5μF/轴
材质:钢
重量:80g
推荐控制器