什么是飞秒激光
飞秒激光的特点
激光刻蚀原理与典型应用
1
基本原理
2
技术特征介绍
3
典型应用
芯明天P12A压电扫描台
应用于飞秒激光刻蚀
技术参数
型号 |
P12A.XYZ100 |
运动自由度 |
XYZ |
驱动控制 |
3 路驱动
3 路传感 |
标称行程范围
(0~120V) |
80μm/轴 |
传感器类型 |
SGS |
通孔尺寸 |
45×45mm^2 |
闭 / 开环分辨率 |
3nm/1nm |
闭环线性度 |
0.15%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.1%F.S. |
俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<20μrad |
推 / 拉力 |
20N/4N |
运动方向刚度 |
X0.3N/μm、Y0.25N/μm、Z0.2 N/μm |
空载谐振频率 |
X200Hz/Y150Hz/Z120Hz |
闭 / 开环空载阶跃时间 |
30ms/0.8ms |
承载能力 |
0.5kg |
静电容量 |
3.6μF/轴 |
材质 |
钢、铝 |
重量 |
350g |
型号 |
P12A.XYZ200 |
运动自由度 |
XYZ |
驱动控制 |
3 路驱动
3 路传感 |
标称行程范围
(0~120V) |
160/轴 |
行程范围(0~150V) |
200/轴 |
传感器类型 |
SGS |
闭 / 开环分辨率 |
5.5nm/2nm |
闭环线性度 |
0.5%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.4%F.S. |
空载谐振频率 |
X150Hz/Y130Hz/Z90Hz |
承载能力 |
0.3kg |
静电容量 |
7.2μF/ 轴 |
材质 |
钢、铝 |
配套控制器