P77.D7 系列压电式移相器是专为光学检测移相应用而设计的,中心通孔直径为65mm,内置高性能压电陶瓷,可以实现Z轴50μm的位移行程,负载可达2kg,无摩擦柔性导向机构具有超高的分辨率,非常适于镜头的光学检测等应用。
产品特点
• 一维Z向运动
• 行程可达50μm
• 承载可达2kg
• 通孔直径:65mm
典型应用
• 显微成像
• 表面检测
• 干涉/测量
• 精密定位
• 移相器
• 光学捕获
纳米级分辨率、毫秒级响应时间
P77-D7系列压电移相器采用直驱结构设计原理,可以实现50μm的位移行程。优异的柔性铰链导向机构采用有限元分析进行优化实现纳米级的分辨率、毫秒级的响应时间。
步进曲线(10V 步进)
开环曲线
技术参数
型号 |
P77-D7 |
单位 |
运动自由度 |
Z |
|
行程范围 |
0~50 |
μm±20% |
驱动电压 |
0~150 |
V |
静电容量 |
5.4 |
μF±20% |
负载能力 |
2 |
kg |
尺寸(外径×高) |
Ø105×72.5 |
mm |
通孔尺寸 |
Ø65 |
mm |
重量 |
1.1 |
kg |