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VH13系列金属密封压电促动器可实现一维Z向位移，有42μm、46μm两种行程可选。由于与大气绝缘，受环境湿度的影响要小得多。具有更长的使用寿命和更高性能，适用于需要高可靠性的半导体器件制造设备和光通信设备等各种应用中使用。
产品特点
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产品应用
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| 技术参数 | |||
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型号 |
PSt150/7/40VH13K |
PSt150/7/55VH13K |
单位 |
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运动自由度 |
Z |
Z |
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标称行程范围（0~120V）* |
33.6 |
37 |
μm±20% |
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Max.行程范围（0~150V） |
42 |
46 |
μm±20% |
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空载谐振频率 |
15 |
12 |
kHz±20% |
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最大出力 |
800 |
800 |
N±20% |
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刚度 |
19 |
17 |
N/μm±20% |
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静电容量 |
3.5 |
4.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢 |
钢 |
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外形尺寸 |
Φ11.5×44.4 |
Φ11.5×54.5 |
mm |
| 重量 | 25 | 30.6 |
g±5% |
注：标称行程是在 0~120V 的驱动电压下的位移行程；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V。安装预紧力一般不超过出力的20%。电连接：连接器或裸线等。
