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P84为标准测微头与可产生高分辨率位移的压电陶瓷机构相结合,通过手动调节大范围的测微头实现13mm大范围的移动,再通过控制驱动电压,使压电陶瓷机构相应伸长或缩短到预定位置,从而实现对压电陶瓷驱动测微头高分辨率的精调节


宏微复合机构


宏微复合机构是通过宏动调节测微头与压电微动调节机构完成大范围精密定位需求。


压电微调机构

手调测微头

宏微复合机构

X65P84S/K 一维大行程位移台

XY65P84S/K 二维大行程位移台

XYZ65P84S/K 三维大行程位移台

驱动示意图

通过测微头与压电微调机构相结合的方式实现宏微复合机构,宏微复合机构可以与宏动平台配合使用,组成大行程高精度压电平移台。

位移与电压曲线

线性度曲线

    技术参数

型号

尾辍S-闭环

尾辍K-开环

P84.X100S

P84.X100K

P84.X250S

P84.X250K

单位

运动自由度

X

X

行程范围(粗调+精调)

13mm+100µm

13mm+250μm

壳体材料

钢、铝

钢、铝

粗调行程范围

13

13

mm

粗调分辨率

10

10

µm

驱动方式

螺纹副(分厘卡)

螺纹副(分厘卡)

灵敏度

<2

<2

µm

最小读数

10

10

µm/格

螺距

0.5

0.5

mm/rev.

精调行程范围

0~120 V

80

200

µm±20%

0~150 V

100

250

µm±20%

传感器类型

SGS/-

SGS/-

最小步进(分辨率)

3/1

7/2

nm, typ.

闭环线性度

0.1/-

0.1/-

%F.S.

重复定位精度

0.05/-

0.05/-

%F.S.

运动方向推力

16

8

N

运动方向的刚度

1

0.03

N/µm±20%

空载谐振频率

380

210

Hz±20%

承载能力(Z向)

500

200

g

工作温度范围

-20~80

-20~80

°C

静电容量

1.8

14.4

µF±20%

出线长

1.5

1.5

m±10mm

传感/电压连接器

LEMO

LEMO

注:压电驱动的标称行程是在 0~120V 的驱动电压下的位移行程,驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在0~120V。

    P84.X100尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    P84.X250尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet

P84.X100

P84.X250

使用说明书/Manual


应用案例


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