产品特点
Z向位移250μm |
可选闭环传感器 |
承载1kg |
静电容量21.6μF |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||
型号 |
P60.Z250S |
P60.Z250K |
单位 |
运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动 |
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标称行程范围(0 ~120 V) |
200 |
200 |
µm±10% |
行程范围(0~150V) |
250 |
250 |
µm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
7 |
2 |
nm |
闭环线性度 |
0.4 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
空载谐振频率 |
260 |
260 |
Hz±20% |
承载能力 |
1 |
1 |
kg |
静电容量 |
21.6 |
21.6 |
μF±20% |
材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
0.4 |
0.4 |
kg±20% |
真空度 |
1×10^(-5) |
1×10^(-5) |
mbar |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |