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产品特点
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典型应用
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
P66.X30S-C |
P66.X30K-C |
单位 |
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运动自由度 |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动，1路传感 |
1路驱动 |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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行程范围 |
0~120 V |
30 |
30 |
µm±10% |
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0~150 V |
38 |
38 |
µm±10% |
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分辨率 |
1 |
0.5 |
nm |
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闭环线性度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.1 |
- |
%F.S. |
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运动方向刚度 |
10 |
10 |
N/µm |
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空载谐振频率 |
2000 |
2000 |
Hz±20% |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
5 |
1.5 |
ms±20% |
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运动方向推/拉力 |
200/10 |
200/10 |
N |
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承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
kg |
| 立式安装 | 0.3 | 0.3 | kg | |
| 倒置安装 | 1 | 1 | kg | |
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静电容量 |
3.6 |
3.6 |
μF±10% |
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材质 |
铝 |
铝 |
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重量 |
193 |
193 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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