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    技术参数
 编号 P13.XYZ180K 单位
 运动方向 X、Y、Z
 常温行程范围（0~60V） 180 μm±20%
 低温 4K 下行程（0~150V） 80 μm±20%
 分辨率 5 nm
 承载能力 100 g
 空载谐振频率 100 Hz±20% 
 自重（不含线） 300 g
 静电容量 12.3/ 轴 μF±20%
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    技术参数
 编号 20059 单位
 运动方向 Z
 标称行程范围（0~120V） 800 μm±20%
 行程范围（0~150V） 1000 μm±20%
 传感器类型 CAP 电容式
 闭环分辨率 27 nm（5mV 纹波下）
 开环分辨率  8 nm
 闭环线性度 0.1 %F.S.±20%
 重复定位精度 0.02 %F.S.±20%
 承载能力 700 g
 静电容量 58 μF±20%
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    技术参数
 编号 20090 单位
 运动方向 X Y
 标称行程范围 30 μm/轴 ±20%
 驱动电压 0~150 V
 带载 2kg 谐频 180 Hz±20%
 静电容量 14.5 μF/ 轴 ±20%
 承载能力 2 kg
 台体材料 铝
 台体重量（不含线） 5.3 kg±5%
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    技术参数
 编号 20100 单位
 运动自由度 X Y Z
 XY 标称行程范围（0~150V） 400 μm/轴 ±20%
 Z 标称行程范围（0~150V） 100 μm±20％
 X、Y 静电容量 10.8 μF/ 轴 ±20％
 Z 静电容量 3.6 μF±20％
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    技术参数
 编号 20136-100μm 单位
 运动自由度 X Z
 X 向标称行程范围 ±50 μm±20%
 Z 向标称行程范围 100 μm±20%
 驱动电压 0~150 V
 传感器类型 SGS，全闭环
 承载能力 10 kg
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    技术参数
 编号 21001 单位
 运动自由度 X、Y、Z
 标称行程范围（0~150V） 20/ 轴 μm±20%
 传感器类型 SGS
 开环分辨率 1 nm
 闭环重复定位精度 20 %F.S.
 X/Y/Z 静电容量 13.2/ 轴 μF±20%
 承载能力 5 kg
 台体材料 铝、钢
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    技术参数
 编号 21009 单位
 运动自由度 X、Z
 标称行程范围（0~150V） 200/ 轴 μm±20%
 传感器类型 SGS
 外形尺寸 150×150×39 mm
 闭 / 开环分辨率 20/10 nm
 闭环线性度 0.25 %F.S.±20%
 闭环重复定位精度 0.15 %F.S.±20%
 俯仰 / 偏航 / 滚动 <60 μrad±20%
 空载谐振频率 250 Hz±20%
 带载 3kg 谐振频率 70 Hz±20%
 加载 3kg 使用频率 5 Hz
 带载 3kg 阶跃时间 80 ms±20%
 承载能力 3 kg
 静电容量 21.6/28.8 μF±20%
 台体材料 钢、铝
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    技术参数
 编号 21136 单位
 运动方向 X
 标称行程范围（0~120V） ±40 μm±20%
 行程范围（0~150V） ±50 μm±20%
 传感器类型 SGS
 闭环线性度 0.1 %F.S.±20%
 闭环重复定位精度 0.05 %F.S.±20%
 工作温度 0~+80 ℃
 承载能力 2 kg
 静电容量 7.2 μF±20%
 台体材料 钢、铝
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    技术参数
 编号 21147 单位
 运动自由度 X Y Z
 标称行程范围（0~120V） 400/轴 μm±20%
 行程范围（0~150V） 500/轴 μm±20%
 传感器类型 SGS
 闭环线性度 0.3 %F.S.±20%
 闭环重复定位精度 0.15 %F.S.±20%
 闭环分辨率 70@20mV纹波 nm
 承载能力 100 g
 静电容量 21.6/轴 μF±20%
 台体材料 钢、铝
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    技术参数
 编号 21210 单位
 运动自由度 X
 标称行程范围（0~150V） 250 μm±20%
 传感器类型 SGS，全闭环高精度
 空载谐振频率 260 Hz±20%
 闭环分辨率 42@20mV纹波 nm
 承载能力 0.3 kg
 静电容量 7.2 μF±20%
 台体材料 钢、铝
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    技术参数
 编号 22025 单位
 运动自由度 Z
 标称行程范围（0~120V） 80 μm±20%
 行程范围（0~150V） 100
 		μm±20%
 传感器类型 SGS，全闭环
 空载谐振频率 680 Hz±20%
 开/闭环分辨率 1/4 nm±20%
 加载5kg谐振频率 80 Hz±20%
 线性度 0.2 %F.S.
 重复定位精度 0.1 %F.S.
 重量（不含线） <0.6 kg±5%
 承载能力 5 kg
 静电容量 21.6 μF±20%
 台体材料 不锈钢、铝合金
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    经销商 最终用户
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    企业 高校 研究所
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