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压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用，可集成于各 类高精密装备，为其提供纳米级运动控制，且应用非常广泛。
XD770.300 大负载压电纳米定位台为 Z 轴方向的运动平台，行程可达 300μm，负载可达5kg，实现行程范围和负载能力的双提升，为同时有大行程、 大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器，分辨率高、 响应速度快。
产品特点
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典型应用
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技术参数 |
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型号 |
XD770.300S |
XD770.300K |
单位 |
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运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围（0 ~120 V） |
240 |
240 |
µm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
300 |
300 |
µm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
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分辨率 |
10 |
3 |
nm |
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闭环线性度 |
0.08 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.02 |
- |
%F.S. |
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俯仰 / 偏航 / 滚动 |
＜15 |
＜15 |
μrad |
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空载谐振频率 |
380 |
380 |
Hz±20% |
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带载谐振频率 |
110@5kg |
110@5kg |
Hz±20% |
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闭 / 开环空载阶跃时间 |
300/10 |
300/10 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
5 |
5 |
kg |
| 立式安装 | 0.08 | 0.08 | kg | |
| 倒置安装 | 0.4 | 0.4 | kg | |
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静电容量 |
40.8 |
40.8 |
μF±10% |
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台体材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1 |
1 |
kg±5% |
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工作温度 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
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注：以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V；对于高可靠的长期使用，建议驱动电压在 0~120V
| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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