压电纳米定位台在精密定位领域中发挥着至关重要的作用,可集成于各 类高精密装备,为其提供纳米级运动控制,且应用非常广泛。
XD770.300 系列压电纳米定位台为 Z 轴方向的运动平台,行程可达 300μm,负载可达5kg,实现行程范围和负载能力的双提升,为同时有大行程、 大负载应用需求提供了优质的解决方案。配合芯明天压电控制器,分辨率高、 响应速度快。
产品特点
Z 向运动 |
行程达 300μm |
承载达 5kg |
参数可定制 |
可定制真空版本 |
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典型应用
显微扫描 |
光路调整 |
纳米操控技术 |
激光干涉 |
纳米光刻 |
生物科技 |
光通信 |
纳米测量 |
显微操作 |
纳米压印 |
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技术参数 | |||
型号 |
XD770.300S |
XD770.300K |
单位 |
运动方向 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动 1 路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围(0 ~120 V) |
240 |
240 |
µm±10% |
行程范围(0~150V) |
300 |
300 |
µm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
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分辨率 |
10 |
3 |
nm |
闭环线性度 |
0.08 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.02 |
- |
%F.S. |
俯仰 / 偏航 / 滚动 |
<15 |
<15 |
μrad |
空载谐振频率 |
380 |
380 |
Hz±20% |
带载谐振频率 |
110@5kg |
110@5kg |
Hz±20% |
闭 / 开环空载阶跃时间 |
300/10 |
300/10 |
ms±20% |
承载能力 |
5 |
5 |
kg |
静电容量 |
40.8 |
40.8 |
μF±10% |
台体材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量 |
1 |
1 |
kg±5% |
工作温度 |
-20~80 |
-20~80 |
℃ |
注:以上参数是采用 E00/E01 系列压电控制器测得。最大驱动电压可在 -20V~150V;对于高可靠的长期使用,建议驱动电压在 0~120V
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |