XD780 系列压电纳米定位台可实现一维 X 向 运动,有 50μm、150μm 和 200μm 三种行程可选。 平台内部采用无摩擦柔性铰链导向机构,一体化的 结构设计。内置高性能压电陶瓷,可实现 200μm 位移。闭环版本全桥设计避免了温度的漂移,确保 了纳米级定位精度。
产品特点
一维 X 向运动 |
可选正立 / 卧式 / 倒置使用 |
行程可达 200μm |
负载可达 5kg |
真空版本可选 |
分辨率可达 0.5nm |
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XD780.50 |
XD780.150/200 |
带载阶跃时间 XD780.50S 负载5kg(1V)闭环上升的阶跃时间为15ms。 |
闭环曲线 -XD780.150S |
典型应用
光学检测 |
表面检测 |
纳米定位 |
光学领域 |
半导体 |
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技术参数 | |||||
型号 |
尾缀S-闭环 |
XD780.50S |
XD780.150S |
XD780.200S |
单位 |
运动自由度 |
X |
X |
X |
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驱动控制 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动,1路传感 |
1路驱动,1路传感 |
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标称行程范围(0~120V) |
40 |
120 |
160 |
μm±10% |
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行程范围(0~150V) |
50 |
150 |
200 |
μm±10% |
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驱动形式 |
直驱机构式 |
放大机构式 |
放大机构式 |
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传感器类型 |
SGS/- |
SGS/- |
SGS/- |
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分辨率 |
2/0.5 |
5/1.5 |
7/2 |
nm |
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线性度 |
0.2/- |
0.2/- |
0.2/- |
%F.S. |
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重复定位精度 |
0.1/- |
0.1/- |
0.1/- |
%F.S. |
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承载能力 |
正立 |
5 |
5 |
5 |
kg |
卧式 |
5 |
5 |
5 |
||
倒置 |
5 |
5 |
5 |
||
空载谐振频率 |
2200 |
760 |
250 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@5kg |
160 |
100 |
60 |
Hz±20% |
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阶跃时间 |
15@5kg(1V)/7.5 |
30/4 |
- |
ms±20% |
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静电容量 |
10.2 |
27.2 |
27.2 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量(含线) |
700 |
1300 |
<1500 |
g±5% |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |