P66.X2K高分辨率压电纳米定位台当前位置:产品首页 >> 一维压电纳米定位台>>P66.X2K高分辨率压电纳米定位台
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        P66.X2K为一款一维真空高分辨率压电纳米定位台。该产品采用直驱结构,可在X向实现2.4μm位移,承载可达1kg。它尺寸为70mm×85mm×20.5mm,体积非常小巧,可在体积有限的空间中使用。定制航空连接器,可在真空环境下使用。



产品特点


一维X向运动

分辨率可达0.5nm

承载可达 1kg

空载谐振频率可达12kHz

毫秒级响应时间

定制采用航空连接器

真空版本



典型应用


干涉显微

扫描

光学测量

微加工

精密控制计量


  技术参数
型号

P66.X2K

单位

运动方向

X

驱动控制

1 路驱动

标称行程范围(0 ~120 V)

1.9

µm±10%

Max.行程范围(0~150V)

2.4

µm±10%

开环分辨率

0.5

nm

带载谐振频率

12

kHz±20%

空载谐振频率

10@20g

kHz±20%

阶跃时间

2

ms±20%

承载能力

水平安装

1

kg

立式安装 1 kg
倒置安装 1 kg
静电容量 

0.58

μF±20%

材质

不锈钢、铝合金

重量

310

g±5%

工作温度

-20~80



安装方向 水平安装
立式安装
倒置安装
释义
    将PZT平台放置安装,运动面位于PZT

平台的上方,运动面与水平面平行

PS:参数表中承载能力默认方向

    将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行

PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载

    将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方

示意图


备注

当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口

    尺寸图 (点击图片可放大查看)
点击图片可放大查看
    尺寸图、参数表、使用说明书下载
Auto CAD PDF
Step
参数表/Specs Sheet
使用说明书/Manual



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    企业 高校 研究所
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