P70系列压电扫描台具有两个版本,分别为二维 XY向运动、一维 Z 向运动。两个版本在四个角的位置都具有四个通孔,孔心距为 30mm,非常适于笼式结构的安装。XY运动版本额外具有四个沉孔,也适于螺纹安装固定。
P70 系列 Z 向运动版本,只需一通道控制。
产品特点
运动自由度Z |
行程范围8μm |
静电容量1.6μF |
承载能力200g |
真空版本可选 |
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技术参数 | |||
型号 |
P70.Z8S (直驱机构) |
P70.Z8K(直驱机构) |
单位 |
运动自由度 |
Z |
Z |
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驱动控制 |
1 路驱动,1路传感 |
1 路驱动 |
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标称行程范围 |
6.4
(@120V) |
6.4 (@120V) |
μm±10% |
行程范围 |
8(@150V) |
8(@150V) |
μm±10% |
传感器类型 |
SGS |
- |
|
闭环分辨率 |
0.3 |
0.1 |
nm |
闭环线性度 |
0.25 |
- |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.16 |
- |
%F.S. |
俯仰/偏航/滚动 |
<10 |
<10 |
μrad |
承载能力 |
200 |
200 |
g |
闭环响应时间 |
30 |
20 |
ms±20% |
空载谐振频率 |
3.6 |
3.6 |
kHz±20% |
加载谐振频率 |
1.5(200g) |
1.5(200g) |
kHz±20% |
静电容量 |
1.6 |
1.6 |
μF±20% |
重量 |
128.5 |
128.5 |
g±5% |
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应用案例
笼式结构 |
低温真空 |
纳米压印 |
超分辨率显微成像 |
红外超分辨率成像 |
激光直写 |
提高CCD分辨率 |
干涉测量 |
显微镜探针校准 |
纳米光刻 |