产品特点
运动自由度Z
静电容量15μF
承载能力1kg
空载谐振频率200Hz
参数
参数值
单位
运动自由度
Z
标称行程范围
（0 ~+120 V）
640
μm±20%
行程范围
（0~+150 V）
800
传感器类型
SGS
闭/开环分辨率
24/6
nm
闭环线性度
0.2
%F.S.
重复定位精度
0.1
空载谐振频率
200
Hz±20%
承载能力
1
kg
静电容量
15
μF±20%
应用案例
硬盘测试
显微镜探针校准
迈克尔逊干涉仪
