产品特点
XZ 二维运动 |
8μm/ 轴行程 |
承载能力达 80kg |
0~1000V 驱动 |
技术参数 | |||
型号 |
XD604.XZ8S |
XD604.XZ8K |
单位 |
运动方向 |
X、Z |
X、Z |
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驱动控制 |
2路驱动,2路传感 |
2路驱动 |
|
X轴标称行程范围(0~1000V) |
8 |
8 |
μm±10% |
Z轴标称行程范围(0~1000V) |
8 |
8 |
μm±10% |
传感器 |
SGS |
- |
|
分辨率 |
0.5 |
0.1 |
nm |
闭环线性度 |
0.19 |
0.19 |
%F.S. |
闭环重复定位精度 |
0.13 |
0.13 |
%F.S. |
空载谐振频率 |
560 |
560 |
Hz±20% |
带载80kg谐振频率 |
340 |
340 |
Hz±20% |
带载80kg工作频率@200nm |
20 |
20 |
Hz±20% |
空载响应时间 |
15 |
15 |
ms±20% |
静电容量 |
X0.44/Z1.33 |
X0.44/Z1.33 |
μF±20% |
材料 |
钢、铝 |
钢、铝 |
|
承载能力 |
80 |
80 |
kg |
重量 |
63 |
63 |
kg±5% |
出线长 |
1.5 |
1.5 |
m±10mm |
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应用案例
硬盘测试 |
显微镜探针校准 |
迈克尔逊干涉仪 |