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P65A.XY100S/K50高分辨率压电纳米定位台采用放大式结构驱动，可实现 X轴和Y轴二维纳米级精密运动。行程可达110μm/轴。开/闭环版本可供选择，可定制真空版本。因其特殊结构设计，重复定位精度可达0.004%F.S.，非常适用于超高精度的定位应用。
产品特点
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推荐控制器 
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| 技术参数 | ||||
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型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P65A.XY100S50 |
P65A.XY100K50 |
单位 |
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运动自由度 |
X、Y |
X、Y |
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驱动控制 |
4路驱动，4路传感 |
4路驱动 |
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标称行程范围（0~120V） |
90/轴 |
90/轴 |
μm±10% |
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Max.行程范围（0~150V） |
110/轴 |
110/轴 |
μm±10% |
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传感器类型 |
SGS |
- |
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| 通孔尺寸 |
50×50 |
50×50 |
mm | |
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分辨率 |
2.5 |
1.5 |
nm |
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闭环线性度 |
X0.02/Y0.04 |
- |
%F.S. |
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闭环重复定位精度 |
0.004 |
- |
%F.S. |
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推/拉力 |
100/10 |
100/10 |
N |
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运动方向刚度 |
0.8 |
0.8 |
N/μm±20% |
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空载谐振频率 |
X520/Y390 |
X520/Y390 |
Hz±20% |
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带载谐振频率@1kg |
X300/Y280 |
X300/Y280 |
Hz±20% |
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闭/开环空载阶跃时间 |
40@1kg |
4 |
ms±20% |
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承载能力 |
水平安装 |
1 |
1 |
kg |
| 立式安装 | 1 | 1 | ||
| 倒置安装 | 1 | 1 | ||
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静电容量 |
6.8/轴 |
6.8/轴 |
μF±20% |
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材质 |
钢、铝 |
钢、铝 |
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重量（含线） |
600 |
600 |
g±5% |
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| 安装方向 |
水平安装 |
立式安装 |
倒置安装 |
| 释义 |
将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT
平台的上方，运动面与水平面平行。 PS：参数表中承载能力默认方向 |
将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行 PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载 |
将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方 |
| 示意图 |
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| 备注 |
当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口 |
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应用案例
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硬盘测试 
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显微镜探针校准 
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迈克尔逊干涉仪 
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